高纯液质联用氮气发生器的必定流量、纯度的普氮和氢液质联用氮气发生器气一同进入设置配备布置中，在混杂器中足够混杂后，进入装有钯触媒除氧器设置配备布置，在脱氧催化剂的成果下发生2H2+O2=2H2O的化学反应，抵达脱氧目的。

　　高纯液质联用氮气发生器变压吸附空分制氮(简称P.S.A制氮) 是一种抢先的气体别离技术，以优质进口碳分子筛(CMS)为吸附剂，选用常温下变压吸附原理(PSA)别离空气制取高纯度的氮气。 氧、氮两种气体分子在分子筛表面上的分散速率不相同，直径较小的气体分子(O2)分散速率较快，较多的进入碳分子筛微孔，直径较大的气体分子(N2)分散速率较慢，进入碳分子筛微孔较少。运用碳分子筛对氮和氧的这种选择吸附性差异，致使短时分内氧在吸附相富集，氮在气体相富集，如此氧氮别离，在PSA条件下得到气相富集物氮气。

　　高纯液质联用氮气发生器的必定流量、纯度的普氮和氢液质联用氮气发生器气一同进入设置配备布置中，在混杂器中足够混杂后，进入装有钯触媒除氧器设置配备布置，在脱氧催化剂的成果下发生2H2+O2=2H2O的化学反应，抵达脱氧目的。液质联用氮气发生器脱氧后氮气中的水气始末冷却器脱水，然后氮气接连进入单调器单调，使氮气露点达-60℃左右，单调器配备两台，其间一台单调器举办吸附单调，另一台把已吸附丰满水气的单调器举办再生，为下一周期吸附工作做好预备。经单调后的氮气始末过滤器除尘，得到的就是高纯氮气。

　　液质联用氮气发生器段时分后，分子筛对氧的吸附抵达均衡，根据碳分子筛在不相同压力下对吸附气体的吸附量不相同的特性，下降压力使碳分子筛免除对氧的吸附，这一进程为再生。根据再生压力的不相同，可分为真空再生和常压再生。常压再生利于分子筛的*再生，易于获得高纯度气体。

　　变压吸附制液质联用氮气发生器(简称PSA制氮机)是按变压吸附技术方案、制造的氮气发生设置配备布置。相同一般运用两吸附塔并联，由全自动操控系统按特定液质联用氮气发生器可编脚步严格操控时序，替换举办加压吸附息争压再生，结束氮氧别离，获得所需高纯度的氮气。