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超纯水制备系统:从原理到应用的全解析

更新时间:2025-07-07点击次数:13
 一、超纯水

当一枚芯片的制程精度进入纳米级,一杯看似普通的水可能决定其成败 —— 这就是超纯水。美国科技界为研发半导体材料、纳米陶瓷等材料而生的超纯水,如今已渗透至生物制药、汽车制造等关键领域。超纯水制备系统

定义核心

除水分子(H₂O)外,几乎不含杂质、细菌、有机物,甚至缺乏人体所需矿物质
衡量标准:电阻率>18MΩ・cm(25℃时理论值达 18.25MΩ・cm),接近 "绝对纯净"

为何如此苛刻?
在半导体蚀刻工艺中,哪怕 0.1μm 的颗粒杂质也会导致电路短路;在疫苗生产中,内毒素残留可能引发严重过敏反应。超纯水系统正是为这类 "零容忍" 场景而生。

二、从自来水到超纯水

(一)工艺流程全景图

自来水 → 原水箱 → 多介质过滤 → 活性炭吸附 → 一级RO反渗透 → 二级RO反渗透 → EDI电去离子 → 抛光混床 → 0.1μm超滤 → 超纯水  
超纯水制备系统

(二)核心技术分类

1. 按水源类型设计

 

地下水:砂滤 + 精密过滤 + RO + 混床(应对高硬度)
自来水:活性炭吸附 + RO+EDI(去除余氯与有机物)
地表水:多介质过滤 + 超滤 + RO(攻克胶体与悬浮物)

 

2. 按水质需求分层

电导率 / 电阻率指标
工艺流程
典型领域
10~20μs/cm
预处理+一级反渗透
化工原料清洗
产水电导率2~9μs/cm
预处理+二级反渗透/预处理+软化+一级反渗透+EDI
医药、化工
>0.2~2μs/cm
预处理+一级反渗透+混床
注射剂溶剂
5~13MΩ.CM
预处理+软化+一级反渗透+EDI或采用预处理+二级反渗透+EDI
医药、化工、电子、发电
13~17MΩ.CM
预处理+软化+一级反渗透+EDI+混床或采用预处理+二级反渗透+EDI+混床
医药、化工、电子、发电
18MΩ・cm 以上
预处理+一级反渗透+二级反渗透+EDI+混床+杀菌+氮封或预处理+软化+一级反渗透+二级反渗透+EDI+脱氧+TOC+混床+脱氧+超滤
芯片蚀刻、晶圆清洗

三、关键单元拆解

1. 预处理系统

多介质过滤器:多介质过滤器是利用一种或几种过滤介质,在一定的压力下把浊度较高的水通过一定厚度的粒状或非粒材料,从而有效的除去悬浮杂质使水澄清的过程,常用的滤料有石英砂、无烟煤、锰砂等,主要用于水处理除浊、软化水、纯水的前级预处理等,出水浊度可达3度以下。超纯水制备系统
活性炭过滤器:滤料为活性炭,用于去除色、味、余氯和有机物,其主要作用方式是吸附,活性炭是一种人工制成的吸附剂。
通过活性炭滤床后,水中悬固小于0.1mg/L,COD去除率一般为40%~50%,游离氯小于0.1mg/L。活性炭总装填高度为1.2米左右。

 

加药系统:

a) 絮凝剂:PAC又叫聚合氯化铝,加絮凝剂的目的是凝聚水中的胶体并使之形成絮状物,从而过滤去除;

b)阻垢剂:阻垢剂的作用是防止或延缓反渗透浓水侧产生结垢;

c)杀菌剂:杀菌剂的目的是防止细菌在系统内滋生,主要成分是次氯酸钠;

d)还原剂:作用是消除进反渗透水中的余氯,防止氧化剂对反渗透膜造成损害。

2. RO 反渗透

利用 0.0001μm 孔径的膜,以大于渗透压的压力让水分子穿过,截留 98% 以上的溶解盐。利用反渗透技术能够有效去除水中溶解盐、胶体,细菌、病毒、细菌内毒素和大部分有机物等杂质。无需化学药剂,却能让海水淡化成可饮用纯水。

3. EDI 电去离子

 

将电渗析与离子交换技术结合,电去离子设备通常以反渗透(RO)纯水作为EDI 给水,通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用,在电场的作用下实现水中离子的定向迁移,从而达到水的深度净化除盐制取高品质超纯水。

4. 终端精处理

TOC 紫外降解:185nm 紫外线打断有机物碳链,将 TOC(总有机碳)降至 ppb 级
抛光混床:填充 H/OH 型树脂,一次性将电阻率推至 18MΩ・cm 以上,供半导体行业

四、耗材更换指南

设备
耗材
更换周期
预警信号
砂滤罐
石英砂
2 年
产水浊度>1NTU,反洗后压差骤升
碳滤罐
活性炭
1-2 年
余氯检测>0.1mg/L,碘值<800mg/g
RO 膜
复合膜
2-3 年
脱盐率下降 5%,产水量减少 30%
抛光混床
超纯树脂
18 个月
电阻率<17MΩ・cm
UV 灯管
254nm/185nm
8000 小时
杀菌效果失效,TOC 降解率下降

附:20T/H 制取超纯水装置(预处理 + RO + EDI + 抛光混床)设计方案
不同蛋白质检测技术对超纯水的需求不同蛋白质检测技术对超纯水的需求


 

1. 色谱-质谱联用技术(LC-MS)

不同蛋白质检测技术对超纯水的需求

 


 

LC-MS是蛋白质组学研究的重要工具,对水质要求极其严格。低质量的水可能引入背景噪音,干扰色谱和质谱的读数,影响数据的准确性和重复性。

 

有机污染物会与蛋白质竞争固定相的活性位点,降低检测灵敏度;无机离子则会改变溶液的离子强度,影响分离效果;而微生物污染可能导致色谱柱堵塞或产生干扰性代谢产物。


 

2. 电泳分析

不同蛋白质检测技术对超纯水的需求

 


在SDS-PAGE、毛细管电泳等蛋白质分离技术中,超纯水用于配制凝胶、缓冲液和样品溶液。水中杂质可能影响凝胶聚合均匀性,导致条带扭曲;离子污染物则会干扰电场分布,影响蛋白质迁移的准确性。


 

3. 蛋白质浓度测定

不同蛋白质检测技术对超纯水的需求

 


无论是双缩脲法、BCA法还是Lowry法,蛋白质定量分析都依赖于精确配制的试剂。水中杂质可能干扰显色反应,导致浓度测定偏差。