高纯液质联用氮气发生器包括氮气缓冲系统、氮氧分离系统、空气储罐系统等。在这些系统中，氮氧分离系统是制氮设备的主要部件，由两个交替工作的吸附塔和气动阀、节流阀、消音器等组成。根据碳分子筛对空气中主要成分氧气和氮气的吸附速率不同，在液质联用专用氮气发生器加压吸附和降压脱附过程中实现氮氧分离，而加压吸附与降压脱附过程由可编程控制器按一定程序控制电磁阀，并由电磁阀控制相应的气动阀自动运行。

　　氮气缓冲系统：其主要作用在于均衡从氮氧分离系统分离出来的氮气的压力和纯度，保证连续供给氮气。同时，在吸附塔进行生到吸附切换时，它将存储的部分合格氮气回充吸附塔保护床层，另外也有帮助吸附塔升压的作用。该系统由流量计、缓冲罐、粉尘过滤器、节流阀、调压阀、防护阀等组成。