气体净化过滤器使气体清洁的基本元件。本元件可接置在旋片式真空泵进气口的前端，使进入真空泵的气体获得过滤净化，去除绝大部分气体中所含的如尘埃等颗粒杂质和水蒸汽等，防止真空泵因吸入不净的气体而妨碍正常工作和延长真空泵的使用寿命。进气口连结真空容器，气体进入气桶，经气桶内过滤件过滤；洁净的气体通向三通，出气口连结真空泵，构成抽吸装置。三通上的真空表可测得其真空度。排污螺塞旋开可排除污物杂质。